等离子体气化过氧化氢vhp空间灭菌器的生物污染去除过程分为四个阶段：

　　1 .气化阶段：将过氧化氢溶液放入气化器中气化，制成过氧化氢蒸汽，通过鼓风机放入混合室，等待处理；

　　2、等离子体产生阶段：将蒸汽状态的过氧化氢导入等离子体产生室，将蒸汽过氧化氢转换为等离子体过氧化氢，输送到vhp空间灭菌器；

　　3 )生物污染去除保持阶段)持续向灭菌室投入过氧化氢等离子体直至达到预先设定的浓度(一般以生物试纸的验证浓度值为准)，在预先设定的浓度以上保持30~35min，生物污染去除完成(根据经验，30min的灭菌效率为6-log，

　　4 .vhp空间灭菌器残留阶段：气体流路系统切换残留装置，气化等离子体的过氧化氢通过分解器转换为水和氧，在重复循环的同时将空气中的过氧化氢浓度降低到1ppm以下。

　　每个阶段的vhp空间灭菌器操作可以手动单独控制，也可以自动控制，按顺序逐个执行。