过氧化氢浓度探头在无尘车间中的校准步骤通常涉及准备阶段、校准实施以及后续验证等环节，以下是详细的步骤说明：

一、准备阶段

1、选择校准设备：

确保所选校准设备（如HMK15 RH校准仪和维萨拉的HM70等）具有高精度和稳定性，能够作为可靠的参考标准。

选择适用于过氧化氢浓度探头的校准气体，一般使用纯氧气或具有特定浓度的过氧化氢蒸汽。

2、检查探头状态：

确保过氧化氢浓度探头处于良好的工作状态，没有损坏或污染。

检查探头的连接线和接口是否牢固可靠，避免在校准过程中出现故障。

3、准备校准环境：

选择一个无尘、无干扰且温度、湿度稳定的校准环境，以确保校准结果的准确性。

确保校准环境符合无尘车间的洁净度要求，避免灰尘或污染物对校准过程的影响。

二、校准实施

1、连接校准设备：

将校准气体气瓶连接到过氧化氢浓度探头上，确保连接紧密无泄漏。

将校准仪器（如HMK15 RH校准仪）与探头进行连接，以便实时监测和记录校准过程中的数据。

2、设置校准参数：

根据校准设备的要求和过氧化氢浓度探头的特性，设置合适的校准参数，如校准气体的浓度、流量、校准时间等。

确保校准参数的设置准确无误，以避免对校准结果的影响。

3、进行校准：

启动校准设备，开始释放校准气体。

观察并记录探头在不同浓度下的响应时间和读数稳定性。

根据校准设备的指示，对探头进行必要的调整，以确保其测量结果与校准气体的实际浓度一致。

三、后续验证与记录

1、验证校准结果：

在校准完成后，使用另一种可靠的测量设备（如另一台经过校准的过氧化氢浓度探头）对校准结果进行验证。

比较两台设备的测量结果，确保它们之间的差异在可接受的范围内。

2、记录校准数据：

将校准过程中的所有数据（包括校准气体的浓度、流量、校准时间、探头的响应时间和读数等）进行记录。

确保记录的数据准确无误，并保存在适当的文档中，以便后续查阅和审核。

3、校准证书与报告：

根据校准设备的要求和过氧化氢浓度探头的特性，生成校准证书或报告。

校准证书或报告应包含校准日期、校准结果、校准人员等信息，并加盖校准机构的公章或签名以确认其有效性。

综上所述，过氧化氢浓度探头在无尘车间中的校准步骤涉及准备阶段、校准实施以及后续验证等环节。通过遵循这些步骤，可以确保探头在无尘车间中的准确性和可靠性，为生产过程的顺利进行提供有力保障。