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OEB5等级高精度称量负压隔离器技术方案
2026-04-29   

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一、方案总则
1.1 方案目的

      本方案针对OEB5等级(OEL<1μg/m³)高活性、高致敏性、毒性物料的安全操作需求,结合十万分之一(精度0.01mg)高精度天平称量要求,设计一款OEB5等级高精度称量负压隔离器。核心解决OEB5等级物料称量过程中粉尘外逸防护、高精度称量干扰(气流、振动、温湿度、静电、电磁)及样品交叉污染等问题,既保障操作人员与周边环境安全,又确保称量数据的准确性、稳定性,全面符合GMP、21CFR PART 11、ISO10648-2及SMEPAC测试标准要求,适配制药、生物制品、精细化工等行业OEB5等级物料的精密称量场景。

1.2 适用范围
     本方案适用于OEB5等级(OEL<1μg/m³)高活性、高致敏性、毒性物料的高精度称量作业,核心适配十万分之一天平(最大称量≤210g,可读性0.01mg)的微量、精密称量需求,涵盖制药行业原辅料称量、生物制品取样、精细化工微量配料等对称量精度和操作安全性有严格要求的领域,可适配各类主流品牌十万分之一天平,满足OEB5等级防护的全流程合规操作。
1.3 核心设计原则

  • 安全优先:严格遵循OEB5等级防护标准,通过稳定负压、高效过滤、安全联锁设计,杜绝物料粉尘外逸,保障人员与环境安全,符合SMEPAC测试要求。
  • 精度适配:全方位规避影响十万分之一天平称量精度的各类干扰因素(气流、振动、温湿度、静电、电磁),确保称量数据重复性≤±0.05mg,线性误差≤±0.08mg。
  • 洁净合规:内部环境满足静态A级洁净要求,舱体无死角设计,便于清洗灭菌,符合制药行业GMP规范及相关质量标准,适配OEB5等级物料操作的洁净需求。
  • 智能可控:集成高精度监测与控制系统,实现负压、温湿度、风速等参数实时监控、数据追溯与异常报警,操作便捷且可追溯,符合21CFR PART 11要求。
  • 兼容适配:整体结构适配十万分之一天平的安装与操作,预留合理操作空间,不影响天平的校准、维护与正常使用,同时满足OEB5等级物料传递、操作的特殊需求。

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核心技术参数
2.1 整体设备参数(符合OEB5等级防护要求)
2.2 适配十万分之一天平的专项参数(兼顾OEB5防护)
2.3 过滤系统参数(OEB5等级专用)

  • 送风过滤:初效过滤器(G4级)+ 中效过滤器(F8级)+ 高效过滤器(H14级),三级过滤,对0.3μm微粒去除效率≥99.995%,确保送入舱内空气符合静态A级洁净要求,避免外界污染OEB5等级物料。
  • 排风过滤:采用袋进袋出(BIBO)或Push-Push排风过滤系统,配备H14级高效过滤器,确保过滤器更换时人员安全,防止OEB5等级物料粉尘二次污染,符合OEB5防护的全流程控制要求。
  • 过滤器压差监测:实时监测过滤器压差,设置报警阈值,压差超限时自动报警,提示更换过滤器,避免因过滤失效导致粉尘外逸,保障OEB5防护连续性。

03
系统整体设计(以OEB5等级防护为核心)
3.1 舱体结构设计(OEB5级密封防护)
3.1.1 舱体材质与工艺
     舱体主体采用316L不锈钢材质,符合制药行业耐腐蚀、无析出要求,适配OEB5等级物料操作的化学稳定性需求;内腔表面抛光处理,Ra≤0.6μm,便于清洗灭菌,无卫生死角,防止OEB5等级物料残留与交叉污染;舱体边角采用R≥15mm弧角设计,避免粉尘堆积,同时利于在位清洗(WIP);观察窗采用15mm钢化玻璃,透光率≥90%,无反光、无畸变,确保操作人员清晰观察称量过程,玻璃与舱体密封采用食品级硅胶密封圈,确保舱体密闭性,满足OEB5等级泄漏率要求。
3.1.2 舱体结构布局
      舱体采用单舱或多舱体结构(可定制),内部划分天平安装区、取样操作区、OEB5物料暂存区,布局合理,避免操作干扰,同时实现物料与操作的分区管控;天平安装区位于舱体中部,采用独立防震平台,与舱体主体柔性连接,进一步隔绝振动;取样操作区设置2~4个手套操作端口,手套采用CSM,丁腈或氯丁橡胶材质,厚度≥0.4mm,密封良好,操作灵活,可更换,确保手套破损时及时更换,不影响OEB5防护效果;物料进出采用RTP快速传递端口或传递舱,具备互锁功能,确保物料传递过程中舱内负压不被破坏,防止OEB5等级物料粉尘外逸。
3.1.3 辅助结构
      舱体底部采用倾斜设计,最低点设置排水口,便于清洗废水排出,避免积水滋生细菌,同时防止OEB5等级物料残留;配备内置水气喷枪,实现舱内在位清洗(WIP),可对舱内接触面进行无死角清洗,避免物料残留与交叉污染,符合OEB5等级操作的洁净要求;舱体侧面设置检修门,便于设备维护与天平检修,检修门配备密封锁,确保检修后密闭性达标;操作区配备LED防爆照明灯,确保照度达标且无电磁干扰,适配OEB5等级物料的精细称量操作。
3.2 负压控制系统设计(OEB5级稳定防护)
3.2.1 负压产生与调节
      采用变频高压排风机与精密送风机协同工作,通过调节送风量与排风量的差值,使舱内产生稳定负压,负压范围可通过控制系统连续调节,精度达±0.1Pa,满足OEB5等级防护的负压要求;风机采用低噪音、低振动型号,风机与舱体之间采用柔性连接,配备减震垫,减少风机振动对天平的影响,同时避免振动导致舱体密封失效;设置负压缓冲装置,避免负压突然波动,确保称量过程中负压稳定,波动≤±5Pa/h,防止负压波动导致粉尘外逸。
3.2.2 压差监测与报警
      舱内配备高精度压差传感器,实时监测舱内与外界环境的压差值,数据实时显示在控制系统触摸屏上,同时可存储、打印,便于OEB5防护合规追溯;设置压差上下限报警阈值,当压差偏离设定范围时,系统自动发出声光报警,同时启动风机变频调节,试图恢复负压稳定,若无法恢复,自动切断设备运行,防止OEB5等级物料粉尘外逸;配备裂隙风速监测,确保裂隙风速≥0.5m/s,保证高活产品不会外泄,严格符合OEB5等级防护标准。
3.3 洁净气流系统设计(适配OEB5+高精度称量)
       采用紊流送风方式,送风口配置散流板,确保气流均匀分布,无涡流、无死角,避免气流直接冲击称量样品,同时有效带走舱内OEB5等级物料粉尘;三级过滤系统确保送入舱内的空气达到静态A级洁净要求,有效过滤空气中的粉尘、颗粒,防止污染样品,同时避免外界污染物进入舱内;排风经过高效过滤后排出,避免舱内OEB5等级物料粉尘污染外界环境;气流速度可根据称量需求调节,称量模式下采用低风速运行,减少气流对天平称量的干扰,非称量模式下采用常规风速,确保舱内洁净度与粉尘控制效果,兼顾高精度称量与OEB5防护。
3.4 天平适配与防护设计(高精度+OEB5兼容)
3.4.1 防震防护
    天平安装在高精度气悬浮防震平台上,平台底部配备减震垫,与舱体主体柔性连接,有效隔绝外界振动(包括地面振动、风机振动、人员操作振动),振动衰减率≥90%,确保天平传感器不受振动干扰,保障称量精度;防震平台可进行水平调节,保证天平安装水平,避免倾斜导致的称量误差,同时平台设计不影响舱内负压分布与OEB5防护效果。
3.4.2 温湿度与静电控制
     舱内集成高精度温湿度传感器与恒温恒湿调节模块,实时监测并调节舱内温湿度,确保温度稳定在20±2℃,温度波动≤0.5℃/h,湿度稳定在45%~65%RH,符合十万分之一天平最佳工作环境要求,减少温湿度漂移误差;内置离子发生器,可快速消除舱内静电(包括样品、称量容器、舱体内壁的静电),静电消除时间≤2s,避免静电吸附粉尘导致的称量偏差,同时防止OEB5等级物料粉尘因静电飞扬,保障防护效果;操作人员操作时需佩戴防静电手环,进一步杜绝静电干扰,符合OEB5等级操作规范。
3.4.3 电磁屏蔽设计
     舱体采用电磁屏蔽结构,外壳接地处理,屏蔽效能≥40dB,可有效阻挡外界电磁辐射(如实验室其他仪器、电网电磁干扰)影响天平的电磁力传感器,确保天平称量精度稳定;天平电源线采用屏蔽线,避免电源线传导电磁干扰,同时屏蔽设计不影响舱体密闭性与OEB5防护效果。
3.4.4 操作适配设计
       天平安装位置预留充足操作空间,便于操作人员通过手套端口进行样品放置、称量、记录等操作,不影响天平的按键操作、校准及维护;舱内配备专用称量纸、砝码放置架,避免物料污染天平,同时防止OEB5等级物料残留;天平与舱体之间采用密封处理,防止洁净气流直接吹向天平内部,同时便于天平的拆卸与检修,密封设计符合OEB5等级泄漏率要求。
3.5 控制系统设计(OEB5合规+智能管控)
3.5.1 控制核心
      采用西门子S7系列PLC与12英寸触摸屏(或IPC工控电脑)组成控制系统,操作界面简洁直观,支持中文/英文切换;具备三级密码权限管理(操作人员、维护人员、管理员),符合21CFR PART 11要求,实现电子签名、电子记录与审计追踪功能,所有操作数据、参数记录不可篡改,保存期限≥3年,可实时储存、打印数据与报表,满足OEB5等级操作的合规追溯需求。
3.5.2 监测与控制功能

  • 实时监测:实时监测舱内负压、温湿度、风速、过滤器压差、手套完整性等参数,数据实时显示,异常时自动报警,确保OEB5防护与称量精度双重达标。
  • 自动控制:自动调节负压、温湿度、气流速度,实现设备启停、过滤系统吹扫、消毒灭菌等自动化操作;称量模式与非称量模式自动切换,降低气流对称量精度的影响,同时维持OEB5防护的稳定性。
  • 报警功能:设置负压、温湿度、压差、风速等参数的上下限报警,报警方式为声光报警,同时记录报警信息,便于追溯;配备急停按钮,紧急情况下可快速切断设备运行,防止OEB5等级物料粉尘外逸,保障人员安全。
  • 数据管理:支持参数设置、数据查询、报表打印、数据导出等功能,可集成到SCADA系统,实现远程监控与管理,满足OEB5等级操作的合规管理要求。

3.5.3 安全联锁设计(OEB5级核心防护)
     舱门与负压系统联锁,当舱门未关闭或密封不严时,负压系统无法启动,且无法维持负压,防止粉尘外逸;手套端口与负压联锁,若手套破损,系统自动报警并调节风机频率,确保裂隙风速≥0.5m/s,维持OEB5防护效果;过滤器压差超限时,系统报警并提示更换,若未及时更换,设备自动停机,避免过滤失效导致防护失效;物料传递舱与主舱体互锁,确保物料传递过程中舱内负压稳定,防止OEB5等级物料粉尘外逸,实现全流程安全防护。
3.6 消毒灭菌系统设计(可选)
       可选集成在线过氧化氢(VHP)灭菌系统,除菌能力达到6log下降,可对舱内进行全面消毒灭菌,避免OEB5等级物料交叉污染,同时符合制药行业GMP规范;灭菌过程自动化控制,可设置灭菌时间、温度、浓度等参数,灭菌完成后自动通风换气,确保舱内无灭菌剂残留,不影响后续称量精度与物料安全性;
3.7 辅助系统设计(适配OEB5等级操作)

  • 照明系统:舱内配备LED防爆照明灯,照度≥300LX,无反光、无电磁干扰,确保称量操作视野清晰;外部配备设备运行指示灯,便于观察设备运行状态,及时发现异常,保障OEB5防护连续性。
  • 供电系统:配备独立电源开关、漏电保护装置,确保设备供电安全;配备备用电源(UPS),断电后可维持设备核心系统运行≥30分钟,保护称量数据不丢失,同时维持舱内负压短暂稳定,防止粉尘外逸。
  • 排水系统:舱体底部排水口连接耐腐蚀排水管,配备阀门,便于清洗废水排出,防止积水滋生细菌;排水管采用密封设计,避免外界空气进入舱内,同时防止废水携带OEB5等级物料粉尘外泄,符合防护要求。
  • 防爆设计(可选):可根据现场防爆要求,定制防爆型设备,所有电气部件、风机、传感器均采用防爆型号,符合防爆区设备运行安全性要求,适配OEB5等级物料在防爆环境下的称量操作。

04
设备安装与调试(OEB5等级合规要求)
4.1 安装要求

  • 安装环境:设备安装在无振动、无电磁干扰、无粉尘、温湿度稳定(18~26℃,45%~65%RH)的实验室或车间内,远离离心机、通风橱、微波炉等震源与电磁干扰源,避免影响天平精度与OEB5防护稳定性;安装场地地面平整,承载力≥500kg/m²,周围预留≥1.5m操作与维护空间,便于OEB5等级物料的安全操作与设备维护。
  • 安装流程:先进行舱体固定,调整水平,确保舱体无倾斜;然后安装风机、过滤系统、控制系统,连接管路与电路,管路连接采用密封设计,确保无漏气;接着安装天平防震平台,调试防震效果;最后安装手套、传递舱、消毒系统等辅助部件,进行密封测试,确保泄漏率符合OEB5等级要求。
  • 密封要求:安装完成后,对舱体所有接口、密封圈、舱门、手套端口等进行密封测试,确保泄漏率≤0.25%vol/h,无漏气现象,严格符合OEB5等级防护的密封标准。

4.2 调试内容
4.2.1 负压系统调试(OEB5级核心调试)
     启动负压系统,调节送风机与排风机频率,测试不同负压值(-20~-150Pa)的稳定性,确保负压波动≤±5Pa/h,符合OEB5等级防护要求;测试压差传感器的准确性,校准报警阈值,确保压差监测灵敏有效;测试舱门、传递舱互锁功能,确保负压不被破坏,防止粉尘外逸。
4.2.2 洁净气流系统调试
       启动送风与排风系统,测试气流速度(0.3~0.5m/s)的均匀性,确保舱内无涡流;检测舱内洁净度,确保达到静态A级要求,适配OEB5等级物料称量的洁净需求;测试过滤器压差,确认过滤器安装合格,无泄漏,避免过滤失效;测试称量模式下的低风速运行效果,确保不影响天平称量精度。
4.2.3 天平适配调试
      将十万分之一天平安装在防震平台上,调节平台水平;测试防震效果,确保外界振动对天平称量的影响在允许范围内;在舱内温湿度稳定后,对天平进行校准,测试称量精度(重复性、线性误差),确保符合天平出厂标准;测试静电消除功能,确保静电电压≤±10V,无静电干扰,兼顾精度与OEB5防护。
4.2.4 控制系统与辅助系统调试
     调试控制系统的各项功能,确保参数监测准确、自动调节灵敏、报警功能正常,满足OEB5等级操作的合规追溯要求;测试电子签名、审计追踪功能,确保数据可追溯;调试消毒灭菌系统,确保灭菌效果达标,无残留,适配OEB5等级物料操作;测试备用电源、照明、排水等辅助系统,确保运行正常,保障OEB5防护连续性。
4.2.5 整体联动调试(OEB5+精度双重验证)
       进行设备整体联动测试,模拟OEB5等级物料称量取样全流程,测试负压、洁净度、温湿度、天平精度等参数的协同稳定性;测试设备在异常情况下(如负压波动、过滤器堵塞、手套破损)的报警与应急处理能力,确保OEB5防护不失效;连续运行24小时,确保设备运行稳定,各项参数符合设计要求与OEB5等级标准。
05
操作流程规范(OEB5等级合规操作)
5.1 操作前准备

  • 人员准备:操作人员经OEB5等级操作专项培训考核合格上岗,按规定穿戴全套OEB5级PPE(个人防护装备),穿戴后检查无破损、密封良好;严禁携带饰品及无关物品,经风淋室(≥30秒)进入作业区;上岗前确认身体状态良好,无影响作业的症状,严禁带病上岗,避免操作失误导致防护失效。
  • 环境准备:清理隔离器周边1.5m内杂物,确保通道畅通;检查作业区照明、温湿度、洁净度达标;设置OEB5等级警示标识并保持清晰,严禁无关人员进入;配备充足消防与应急用品,确保完好可用、归位规范,应急通道畅通,应对突发防护异常情况。
  • 物料与工具准备:核对OEB5等级物料信息与生产指令/取样方案一致,包装完好、在有效期内,物料包装符合防泄漏要求;准备兼容的转移容器、密封PE袋、标识标签及清洁灭菌的取样工具,避免物料污染与泄漏;准备校准合格的十万分之一天平、称量纸(舟)、校准砝码;准备兼容的润湿剂、清洁剂消毒剂,标识清晰,适配OEB5等级物料的清洁需求。
  • 设备检查:检查舱体、观察窗无破损划痕,焊缝光滑;操作手套完好密封,门体、RTP接口密封良好,互锁有效;过滤系统压差正常,无报警;控制系统、辅助系统运行正常;天平清洁校准合格,取样工具无残留,确保设备符合OEB5等级防护与高精度称量要求。

5.2 开机与权限登录

  • 按规定顺序开机,开启总电源,确认电源稳定;开启控制系统,等待初始化(约30秒),确认无报错;初始化完成后,系统调节舱内压力至OEB5等级设定值,同时开启过滤器吹扫5分钟;开启消毒灭菌系统,对舱内进行消毒(根据需求选择VHP或紫外线消毒),消毒完成后通风换气,确保舱内无灭菌剂残留与污染物。
  • 采用分级权限登录,输入授权用户名密码,签署电子签名并提交验证;登录成功后,系统记录审计日志,进入主界面,仅可操作权限内功能;登录后不得擅自离岗,离岗需退出登录、悬挂标识,防止无关人员操作导致OEB5防护失效。
  • 进行保压测试,确认舱体密闭性合格(基准压力-80Pa,时长30分钟,压力偏差≤2Pa),质量监督人员全程见证,记录测试数据,确保OEB5等级密封防护达标,数据可追溯。

5.3 称量取样操作(OEB5+高精度规范)

  • 通过RTP快速传递端口或传递舱,将OEB5等级物料、称量工具送入舱内,关闭传递舱门,确保互锁到位,维持舱内负压稳定,防止物料粉尘外逸。
  • 启动天平预热30分钟,待天平达到热平衡后,进行校准(采用标准砝码),校准合格后开始称量,确保称量精度达标。
  • 操作人员通过手套端口进行操作,动作轻柔,避免产生粉尘飞扬;将称量纸(或称量舟)放置在天平秤盘中心,去皮归零;小心取适量OEB5等级样品,放置在称量纸上,待天平读数稳定后,记录称量数据(精确至0.01mg),记录数据及时上传至控制系统,确保可追溯。
  • 称量完成后,将样品密封保存,做好标识(注明物料名称、称量日期、操作人员等信息);清理称量工具与舱内残留物料,采用润湿剂使残留粉尘团聚,防止飞扬,便于清理,避免OEB5等级物料残留与扩散。
  • 取样完成后,将样品通过传递舱取出,关闭传递舱门;对舱内进行清洁,启动WIP系统进行在位清洗,排出清洗废水,确保舱内无物料残留,为下一次操作做好准备。

5.4 关机流程

  • 完成称量取样操作后,彻底清理舱内杂物与物料残留,关闭天平电源;启动消毒灭菌系统,对舱内进行消毒,消毒完成后关闭消毒系统,确保舱内无OEB5等级物料残留与污染。
  • 关闭送风、排风系统,待舱内压力恢复至常压后,关闭控制系统电源;退出用户登录,签署操作记录,归档相关数据,确保OEB5等级操作合规追溯。
  • 关闭设备总电源,检查设备状态,整理操作区域,做好设备维护记录,确保设备下次运行时符合OEB5等级防护要求。

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维护与保养(保障OEB5防护持续有效)
6.1 日常维护(每日)

  • 检查设备外观,确认舱体、观察窗、手套无破损、无泄漏;检查各接口密封良好,无松动,确保OEB5等级密封防护达标。
  • 检查控制系统各项参数(负压、温湿度、压差),确认正常;检查报警功能,确保灵敏有效,及时发现防护异常。
  • 清洁舱内表面、天平表面及操作手套,去除残留物料与粉尘,避免OEB5等级物料残留与交叉污染;检查天平水平状态,清理秤盘上的杂物,确保称量精度。
  • 检查过滤器压差,若接近报警阈值,及时记录并准备更换;检查排水系统,确保无积水、无堵塞,避免废水携带粉尘外泄。
  • 填写《设备日常维护记录表》,记录设备运行状态与维护内容,发现异常及时上报,确保维护记录可追溯,符合OEB5等级合规要求。

6.2 定期保养(每月)

  • 更换操作手套,检查手套端口密封性能;检查传递舱互锁功能,确保正常;检查密封圈,若有老化、破损,及时更换,确保密封防护达标,符合OEB5等级要求。
  • 清洁初效、中效过滤器,若过滤器堵塞严重,及时更换;检查高效过滤器的密封性能,确保无泄漏,避免过滤失效导致防护失效。
  • 对天平进行全面校准,检查防震平台的减震效果,调整水平状态;清洁天平内部传感器,避免粉尘影响精度,确保高精度称量持续达标。
  • 检查风机运行状态,清理风机滤网,添加专用润滑剂,减少运动部件摩擦,防止锈蚀卡滞;检查管路连接,确保无漏气、无松动,维持负压稳定。
  • 测试消毒灭菌系统的灭菌效果,校准温湿度传感器、压差传感器,确保监测准确,保障OEB5等级物料操作的洁净与防护需求。

6.3 年度维护(每年)

  • 更换高效过滤器、初效过滤器、中效过滤器,对过滤系统进行全面清洗与检测,确保过滤效果符合OEB5等级防护要求。
  • 对风机进行全面检修,检查电机运行状态,更换磨损部件;对负压控制系统进行全面调试,确保负压稳定,波动≤±5Pa/h。
  • 对天平进行专业校准,由专业计量人员进行检测,确保称量精度符合标准;检查防震平台的性能,必要时进行更换,保障高精度称量。
  • 对控制系统进行全面检测,升级系统软件,清理数据存储,确保数据可追溯;检查电气线路,确保连接安全、无老化,避免电气故障导致防护失效。
  • 对设备整体进行密封测试、洁净度测试、负压稳定性测试,确保设备各项性能符合设计要求与OEB5等级标准;建立设备维护档案,记录维护内容、更换部件及测试数据,保存期至少5年,符合合规追溯要求。

6.4 故障处理(优先保障OEB5防护)
07
质量标准与合规性说明(OEB5等级核心合规)
7.1 质量标准

  • 防护标准:严格符合OEB5等级(OEL<1μg/m³)要求,泄漏率≤0.25%vol/h,裂隙风速≥0.5m/s,符合SMEPAC测试要求,杜绝物料粉尘外逸。
  • 精度标准:适配十万分之一天平,称量数据重复性≤±0.05mg,线性误差≤±0.08mg,符合天平出厂精度标准及《电子天平检定规程》。
  • 洁净标准:舱内静态A级洁净度,粒子数(≥0.5μm)≤3520个/m³,符合ISO 14644-1标准,避免样品污染与交叉污染。
  • 安全标准:电气安全符合GB 5083-1999标准,防爆型号符合相关防爆标准;消毒灭菌效果达到6log下降,无灭菌剂残留,适配OEB5等级物料操作。

7.2 合规性说明
      本设备设计、制造、安装、调试均严格遵循OEB5等级防护标准,符合制药行业GMP规范、21CFR PART 11标准、ISO 10648-2标准及SMEPAC测试要求;设备所有材质均符合食品级、制药级要求,无有毒有害析出,适配OEB5等级物料的化学稳定性需求;操作流程、维护记录、数据追溯均符合质量体系要求,可通过第三方OEB5等级认证、GMP验证及SMEPAC测试;设备可根据客户需求,配合完成GMP验证、SMEPAC测试等相关合规性工作,确保全流程符合OEB5等级操作规范。
08
设备交付与验收
8.1 交付内容

  • 主体设备:OEB5等级高精度称量负压隔离器舱体、风机、过滤系统、控制系统、天平防震平台、消毒灭菌系统等全套设备,均符合OEB5等级防护要求。
  • 辅助配件:OEB5等级专用操作手套、标准砝码、校准工具、清洁工具、消毒剂、备用密封圈等,适配OEB5等级操作需求。
  • 技术资料:设备说明书、安装调试手册、OEB5等级操作规范、维护保养手册、校准证书、OEB5防护检测报告、GMP验证支持资料等,确保合规追溯。

8.2 验收标准

  • 外观验收:设备外观无破损、无划痕,舱体抛光均匀,接口密封良好,配件齐全、安装到位,密封部件符合OEB5等级要求。
  • 性能验收:负压稳定性、洁净度、温湿度控制、气流速度、静电消除等参数符合设计要求与OEB5等级标准;天平适配性良好,称量精度达标。
  • 功能验收:控制系统各项功能正常,参数监测准确,报警功能灵敏,数据追溯可实现;



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